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  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "太陽能".ckeyword (精準) and ckeyword.raw="微晶矽"


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    以超高頻矽甲烷電漿化學氣相沉積系統製備微晶矽膜之研究
    • 化學工程系 /96/ 碩士
    • 研究生: 陳宗麟 指導教授: 洪儒生
    • 本研究使用超高頻電漿化學氣相沉積系統來製備微晶矽薄膜,同時利用放射光譜儀來觀測電漿中成分的變化,並將放射光譜儀的量測結果和薄膜的結構特性做比較。並藉由調整電漿功率、反應總壓、上下電極間距、氫氣稀釋比…
    • 點閱:356下載:0
    • 全文公開日期 2013/08/04 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

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    以射頻電漿輔助化學氣相沉積法製備 P型矽薄膜及其光電性質之研究
    • 化學工程系 /97/ 碩士
    • 研究生: 朱炳勳 指導教授: 洪儒生
    • 本研究以三甲基硼(TMB)為摻雜物,使用射頻電漿輔助化學氣相沉積系統(RF-PECVD)於玻璃基材上成長p型非晶碳化矽以及p型微晶矽薄膜,並分析其結構及光電性質,期望能製備出適用於薄膜太陽能電池的p…
    • 點閱:301下載:0
    • 全文公開日期 2014/07/31 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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